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MS-WTW 晶圆检测分选机

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MS-WTW 晶圆检测分选机

MS-WTW 晶圆检测分选装备,,,,,,,是一款针对膜对膜,,,,,,,集检测、分选与一体的自动化装备,,,,,,,具备高取放速率、高固晶精度、高检测精度、高清洁度等特点 。。。。。。。。来料兼容8寸、12寸DISCO铁环,,,,,,,兼容0.2mm*0.2mm~15.5mm*15.5mm 芯粒产品 。。。。。。。。

产品咨询电话:13811928592(毛总)
产品咨询邮箱:jian.mao@incubecn.com
  • 大尺寸芯片挑拣,,,,,,,挑拣晶粒边长0.2mm~15.5mm

  • 兼容8寸、12寸Disc0铁环规格的来料晶圆检测分选

  • 对分选晶粒举行正面、背面以及4个侧面的AOI检测

  • 基于深度学习的缺陷检测+古板算法辅助,,,,,,,参数可自由设定卡控

  • 排列精度高且稳固,,,,,,,X、Y排列误差STD可到5以内,,,,,,,XY精度误差≤20μm,,,,,,,角度误差≤1°

  • 效率高,,,,,,,一连挑拣CT<200ms(产品尺寸3*3mm)

  • 挑拣乐成率≥99.99%(去除外观不良)

  • 最佳Map挑拣规则,,,,,,,兼顾产能与抓取准确性,,,,,,,降低Wrong Sort危害

  • 固晶位置误差自动补正

  • 全自动Wafer/Bin片上下料

  • 可实现不破膜取料,,,,,,,降低产品损伤率

  • 高无尘品级要求Class 10

  • 支持定制化软件开发

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